Platform System
Inline Platfrom System
- 3 ~ 5P EFEM & N2 Circulation
- 4 ~ 12(6+6) Chamber Linear type
- PM Long Reach & 고온 환경 대응
- 간편한 Maintenance & leveling
- 고정밀도 (Repeatability, AWC)
- 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
- SEMI Standard
Cluster Platfrom System
- 3 ~ 5P EFEM & N2 Circulation
- 4 ~ 8 Facet Transfer Module
- PM Long Reach & 고온 환경 대응
- 간편한 Maintenance & leveling
- 고정밀도 (Repeatability, AWC)
- 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
- SEMI Standard
(주) 볼타오토메이션
경기도 화성시 동탄순환대로 823, 에이팩시티 2F
우편번호 18471
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Tel : 82-31-5182-9670 / Fax : 82-31-5182-9671
E-mail : admin@voltaautomation.co.kr
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sales@voltaautomation.co.kr (견적문의)