COSMO-GEKKO
‌ Vacuum Robot Series

- AWC/Self-dignosis 기능
‌‌- YASKAWA DD 모터 & 컨트롤러 채용
‌‌- 다양한  Type 의 Arm 채용/고객의 Needs에 맞게 Customizing 가능
- 고진공/고클린 사양 대응
‌‌- SEMI Standard 
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COSMO-GEKKO-VDK31HDA 
- Wafer Size : 200/300mm
- Axis Qty : 4 (DD Motor)
- Controller : SRK200
- Feature : Dual
- Clean Class : Class 1‌
 
COSMO-GEKKO-VDK31HQF
- Wafer Size : 200/300mm
- Axis Qty : 4(DD Motor)
- Controller : SRK200
- Feature : Quad
- Clean Class : Class 1
 
COSMO-GEKKO-VDK31HDP

- Wafer Size : 200/300mm
- Axis Qty : 4(DD Motor)
- Controller : SRK200
- Feature :  Dual Parallel
- Clean Class : Class 1

 
COSMO-GEKKO-VDk31HDM

- Wafer Size : 200/300mm 
- Axis Qty : 4(DD Motor)
- Controller : SRK200
- Feature : Minimum Dual
- Clean Class : Class 1

 
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COSMO-GEKKO-VDK61HQI
- Wafer Size : 200/300mm
- Axis Qty : 7(DD Motor)
- Controller : SRK200
- Feature :  Individual Quad 
                    Hand
- Clean Class : Class 1
 
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COSMO-GEKKO-VTK 

- Wafer Size : 200/300mm
- Axis Qty : 5(DD Motor)
- Controller : SRK200
- Feature :  Linear
- Chamber Qty : up to 12 Chambers
- Clean Class : Class 1

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