Volta Automation

제품소개

Platform System

Platform System

Platform
System

반도체 공정의 자동화와 효율성을 높이는 고정밀 이송 플랫폼입니다.

Cluster Platform System
  • 3 ~ 5P EFEM & N2 Circulation
  • 4 ~ 8 Facet Transfer Module
  • PM Long Reach & 고온 환경 대응
  • 간편한 Maintenance & leveling
  • 고정밀도 (Repeatability, AWC)
  • 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
  • SEMI Standard
Twin Platform System
  • 3 ~ 5P EFEM & N2 Circulation
  • 4 Facet Transfer Module (6 PM. 2 L/L)
  • Individual Arm & 고온 환경 대응
  • 간편한 Maintenance & leveling
  • 고정밀도 (Repeatability, AWC)
  • 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
  • SEMI Standard
In-Line Platform System
  • 3 ~ 5P EFEM & N2 Circulation
  • 4 ~ 12(6+6) Chamber Linear type
  • PM Long Reach & 고온 환경 대응
  • 간편한 Maintenance & leveling
  • 고정밀도 (Repeatability, AWC)
  • 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
  • SEMI Standard

EFEM System

웨이퍼의 자동 이송과 정밀 정렬을 통해 생산성과 청정도를 높입니다.

자세히 보기
COSMO-UNIVAC Series : 고클린 사양, Small Footprint
  • 200/300mm 웨이퍼 이송시스템(2~5Wide)
  • ‌‌오토 티칭 & AWC & Self-diagnosis 기능
  • Yaskawa ATM Robot 적용(신뢰성 확보)
  • ‌고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
  • 간편한 Maintenance & Leveling
  • ‌‌SEMI Standard

Transfer Module

반도체 웨이퍼를 다양한 공정 챔버 간에 자동 이송하는 핵심 장치입니다.

자세히 보기
COSMO-UNIVAC Series : 고진공 Level & High Throughput대응
  • 간편한 Maintenance & Leveling
  • ‌고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
  • AWC & Self-diagnosis 기능(당사 로봇 적용)
  • SEMI Standard
볼타오토메이션
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