제품소개
Vacuum Robot
Vacuum Robot
Vacuum Robot
Series
For In Cluster Backbone
- 4~8각 Cluster 적용 가능
- 최소 회전반경, Long reach
- DD Motor, Can Seal 채용
- Repeatability/AWC 정확도 ±≤ 50㎛
For In Twin Backbone
- 4~7 Axes 가능
- 2~4 Hand 개별 작업
- DD Motor, Can Seal 채용
- Repeatability/AWC 정확도 ±≤ 50㎛
고진공 환경에서 정밀하고 신속한 웨이퍼 이송을 구현합니다.
- AWC/Self-diagnosis 기능
- 고진공/고클린 사양 대응
- YASKAWA DD 모터 & 컨트롤러 채용
- RSEMI Standard
- 다양한 Type 의 Arm 채용/고객의 Needs에 맞게 Customizing 가능
DD모터
적용효과
| 구분 | 일반 진공로봇 | DD모터 적용 진공로봇 |
|---|---|---|
| 구동 구조 | 서보모터 + 감속기 + 진공 씰 | 진공용 DD모터 일체형 |
| 감속기 | 필요 (백래시, 진동 발생) | 불필요 (직접 구동, 고정밀) |
| 진공 씰 | 회전부 씰 필요 (유지보수, 마찰) | 씰 일체화 (내장 구조, 마찰 최소화) |
| 정밀도 및 응답성 | 감속기 영향으로 제한 | 고정밀, 고응답성 |
| 구조 단순화 | 복잡 (부품 다수) | 단순 (모터 일체형) |
| 유지보수성 | 감속기, 진공 씰 점검 필요 | 유지보수 최소화 |
For In Cluster
Backbone
COSMO-GEKKO-VDK31HDA
VDK31HDA 제품은 진공로봇으로 5각, 6각 클러스터 범용 적용이 가능합니다.
- Wafer Size : 200/300 mm
- ARM Reach : CTC 1094 mm
- 4 Axes
- DD Motor & Can Seal
- AWC Accuracy : ± ＜ 50 ㎛
COSMO-GEKKO-VDK31HDM
VDK31HDM 제품은 최소회전반경을 가지며, 4각 및 5각 클리서트 대응이 가능하고, 최소회전반경의 특징이 있습니다.
- Wafer Size : 200/300 mm
- ARM Reach : CTC 750 mm
- 4 Axes
- DD Motor & Can Seal
- Swing Dia : 550
- AWC Accuracy : ± ＜ 50 ㎛
For In Twin
Backbone
COSMO-GEKKO-VDK31HBA
VDK31HBA 제품은 Long reach타입으로 클러스터 챔버에 적용되며, 회전반경 대비 Long reach특징이 있습니다.
- Wafer Size : 200/300 mm
- ARM Reach : CTC 1324 mm
- 4 Axes
- DD Motor & Can Seal
- AWC Accuracy : ± ＜ 50 ㎛
COSMO-GEKKO-VDK61HQI
VDK61HQI 제품은 Twin Chamber형태의 TM에 탑재되며, 독립적인 4개의 암으로 구성되어 있어 있습니다.
- Wafer Size : 200/300 mm
- ARM Reach : CTC 970 mm
- 7 Axes
- DD Motor & Can Seal
- AWC Accuracy : ± ＜ 50 ㎛
볼타오토메이션
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