제품소개
Transfer Module
Transfer Module
Transfer Module
반도체 웨이퍼를 다양한 공정 챔버 간에 자동 이송하는 핵심 장치입니다.
COSMO-UNIVAC Series : 고진공 Level & High Throughput대응
- 간편한 Maintenance & Leveling
- 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
- AWC & Self-diagnosis 기능(당사 로봇 적용)
- SEMI Standard
Transfer Module 구성
Load Lock - VOLTA
- Stack & Batch
- Customizing
- Cool / Heat Etc.
- Micro Volume (Quick Pumping / Vent)
- Up / Down Drive
- Abs. Servo Motor
TM Chamber - VOLTA
- 4-8 Facet & Twin Chamber
- Customizing
- Top Lid Full View Port (Dome Type)
- High VAC.
VAC. ROBOT - VOLTA
- Customizing
- Cluster Type
- Linear Type
- without Vac. Seal
- Abs. DD Motor
- High Throughput
- Controller SR200 (ATM Robot same)
- High Payload (Edge Ring)
- High Accuracy (AWC < 50μm)
볼타오토메이션
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