제품소개
EFEM System
EFEM System
EFEM System
웨이퍼의 자동 이송과 정밀 정렬을 통해 생산성과 청정도를 높입니다.
COSMO-UNIVAC Series : 고클린 사양, Small Footprint
- 200/300mm 웨이퍼 이송시스템(2~5Wide)
- 오토 티칭 & AWC & Self-diagnosis 기능
- Yaskawa ATM Robot 적용(신뢰성 확보)
- 고객 요구에 응하는 커스터마이징 대응
- 간편한 Maintenance & Leveling
- SEMI Standard
EFEM System 구성
LPM - VOLTA
- Std. Type
- N2 Type
- Shield Type
- Customizing
- Easy Maintenance
- Ultra-Cleanness
- Anti-Corrosion
ATM Robot - YASKAWA
- Edge Grip
- Vacuum Grip
- Passive Grip
- Abs. Servo Motor & DD Motor
- Z Long Reach (Max. 805mm)
- High Throughput (X-Y 2,000mm/s)
- Controller SR200
- Auto Teaching
Aligner - YASKAWA
- Vacuum Grip
- Passive Grip
- Wafer Material: Silicon or Quartz
- Wafer Detection
- CCD Line Sensor
- Easy Maintenance
- Very Simplification
- Controller (SR200 all-in-one)
Option - VOLTA
- Customizing
- Buffer Station
- Side Storage
- Wafer Backside
- Anti-Scratch System
볼타오토메이션
온라인문의
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